微透鏡陣列是由通光孔徑及浮雕深度為微米級(jí)的透鏡組成的陣列。它和傳統(tǒng)透鏡一樣,Z小功能單元也可以是球面鏡、非球面鏡、柱鏡、棱鏡等,同樣能在微光學(xué)角度實(shí)現(xiàn)聚焦、成像,光束變換等功能,而且因?yàn)閱卧叽缧 ⒓啥雀?,使得它能?gòu)成許多新型的光學(xué)系統(tǒng),完成傳統(tǒng)光學(xué)元件無法完成的功能。
微透鏡是一種更常用勻光元件,其最大的特點(diǎn)是使用方便,勻化效果好,其更通用的名稱為工程散射片。由于微透鏡采用折射光學(xué)原理,因此其對(duì)波長不敏感,可以同時(shí)對(duì)多個(gè)波長的光進(jìn)行勻化,無需每個(gè)波長配一個(gè)專門的勻化鏡。微透鏡均質(zhì)器可以單獨(dú)使用也可以和聚焦鏡配合使用,配合聚焦鏡能夠獲得更好的勻化效果,不過就算單獨(dú)使用,勻化效果也是比較好的。
微透鏡工程散射片的原理非常簡(jiǎn)單,就是光線通過聚焦鏡折射的原理。因?yàn)槲⑼哥R可以認(rèn)為是很多個(gè)聚焦鏡緊密排列在一起而構(gòu)成,假設(shè)平行光入射,每一個(gè)微透鏡讓照射到自身區(qū)域的入射光產(chǎn)生折射,在遠(yuǎn)處形成一個(gè)均勻光斑。整個(gè)微透鏡陣列的效果就是無數(shù)個(gè)均勻光斑的疊加,自然也是一個(gè)均勻光斑,只是邊緣稍顯模糊。微透鏡的面形控制對(duì)于最后勻化的效果至關(guān)重要。
微透鏡陣列是由許多形狀相同的微米尺寸小透鏡按一定規(guī)律排列而成的陣列,小透鏡的形狀可以是圓形,正方形,六邊形,四方形或是其他形狀,它們大都按照正方形網(wǎng)格狀排列,也可以按照六邊形或是其他形狀排列。微透鏡的特點(diǎn)是小型化、集成化、設(shè)計(jì)自由度大。它能實(shí)現(xiàn)激光勻化、分束和光束聚焦、高靈敏度成像、準(zhǔn)直、波前傳感等功能。一般應(yīng)用于高靈敏度成像,光纖耦合通訊,激光美容,激光加工及探測(cè)等方面。